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EM-KLEEN In-situ-Remote-Plasmareiniger

PIEM100

Der EM-KLEEN In-situ-Remote-Plasmareiniger kann zur In-situ-Reinigung von Proben und Vakuumkammern von Elektronenmikroskopen und anderen Arten von Analyseinstrumenten wie SEM, FIB, TEM, XPS und SIMS verwendet werden. Es kann Kohlenwasserstoff- und Fluorkohlenstoffverunreinigungen innerhalb der Vakuumkammer und organische Verunreinigungen auf der Oberfläche von Proben z.B. vor der Analyse effektiv entfernen.

Preis auf Anfrage

Produktdetails

Beschreibung

Spezifikationen

  • Tischcontroller mit integriertem Mikrocomputer und LCD-Touchscreen-Benutzeroberfläche
  • Remote-Plasmaquelle (hochwertiges Quarzrohr) mit KF/NW40-Vakuumflange
  • PC-Software mit intuitiver Benutzeroberfläche
  • 60 Rezepte speicherbar im Mikrocontroller
  • 75-Watt-HF-Netzteil, keine Impedanzanpassung erforderlich
  • Plasmasensor für Plasmamonitor
  • Elektronische Gasflussregler mit Druckregelung
  • Smart-Schedule-Funktion für automatische Reinigung
  • Intelligent-sicherer und Experten-Betriebsmodus
  • 3m hochwertiges Hochleistungs-HF-Kabel; D-Sub 9 PC-Steuerkabel; D-Sub 15-Quellensteuerkabel

Anwendungsbeispiele

EM-KLEEN ist eine vollautomatische Plasmaquelle. Das System besteht aus einem LCD-Touchscreen-Controller mit Mikrocomputer und einer Remote-Plasmaquelle. Das Design ist intuitiv und vielseitig. Trotz ihrer geringen Größe hat die EM-KLEEN Remote-Plasmaquelle einen Pirani-Drucksensor, einen elektronischen Gasdurchflussregler, einen Plasmaintensitätssensor, einen Temperatursensor und einen Kühlventilator integriert. Der Durchflussregler passt die Gasdurchflussrate automatisch an, um den rezeptspezifischen Druck in der Plasmareinigerkammer aufrechtzuerhalten.

Der Controller kann bis zu 60 Rezepte mit unterschiedlicher HF-Leistung, Plasmaröhrendruck, Gasflussrate und Reinigungsdauer speichern. Es ist keine manuelle Anpassung für verschiedene Rezepte erforderlich. Der Miniatur-Drucksensor überwacht ständig den Probenkammerdruck. Es kann im sicheren Betriebsmodus als Safety Interlock und zum Zählen von Probenladeereignissen für die SmartSchedule™-Funktion verwendet werden. Der integrierte Kühler ermöglicht eine leistungsstarke Hochgeschwindigkeitsreinigung, ohne dass die Quelle überhitzt. Der Temperatursensor bietet gegen Überhitzung der Quelle bei längerer Reinigung mit hoher Leistung. Der Plasmastärkesensor misst die Plasmastärke in Echtzeit, Benutzer können somit den Plasmastatus überwachen.

Durch die Kombination von Drucksensor, automatischem Gasdurchflussregler, Plasmasensor, Temperatursensor und LCD-Touchscreen-Controller mit integriertem Mikroprozessor kann der EM-KLEEN In-situ-Plasmareiniger Ihr System automatisch pflegen und bietet Schutz vor potenziellen Anwendungsfehlern. Die von PIE Scientific entwickelte SmartClean™-Technologie kombiniert das in der Nuklearforschung und in der Halbleiterindustrie entwickelte hochmoderne Plasmaquellen-Design. EM-KLEEN Plasmareiniger sind weitaus fortschrittlicher als frühere Generationen von Remote-Plasmareinigern und bieten viele einzigartige Funktionen.


Der Standard-Vakuumschnittstellenanschluss ist ein NW/KF40-Flansch. Adapter für verschiedene REM-Anschlüsse sind erhältlich. Eine CF2.75″-Flanschoption ist ebenfalls erhältlich.

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Hersteller
PIE Scientific
Verpackungseinheit 1 Stück

Wird oft gemeinsam gekauft