Beschichtungs-Systeme

Der Tennant20 ist ein automatisiertes, handliches PE-CVD System für die Herstellung von ultra-dünnen, reinen Os-Schichten für REM-, EDX-, EBSD-, AES-, XPS-Analysen. Das rotationsgepumpte, geschlossene System erzeugt isotrope Os-Schichten mit sehr geringen Korngrößen und hoher Leitfähigkeit.