Beschichtungs-Systeme

Die EMS150V Plus Serie ist je nach gewählter Ausstattung, als turbo-gepumpter Sputter-Coater für oxidierende Metalle zum ultra-hochauflösenden Imaging, zur Kohlebedampfung von ultrafeinen Carbon-Filmen z.B. zur TEM Grid-Beschichtung oder für beide Applikationen geeignet. Vorvakuumpumpe nicht enthalten.

Die EMS150T Plus Serie ist je nach gewählter Ausstattung, als turbo-gepumpter Sputter-Coater für oxidierende und nicht-oxidierende Metalle, zur Kohlebedampfung von hochstabilen Carbon-Filmen z.B. für TEM-Oberflächenreplicas oder für beide Applikationen geeignet. Vorvakuumpumpe nicht enthalten.

Die EMS150R Plus Serie ist je nach gewählter Ausstattung ein drehschiebergepumptes System, zum Sputtern von nicht-oxidierenden Edelmetallen (z.B. Gold, Platin, Silber, Palladium), zur Kohlebedampfung mit Kohlefäden oder für beide Applikationen geeignet. Das Gerät ist für REM Anwendungen, aber auch für Röntgenspektroskopie (EDS, WDS) geeignet. Drehschieberpumpe nicht enthalten.