LUXOR Pt, Platin Sputteranlage

Der LUXOR-Pt Sputter-Coater vereint innovative Technologie, hohe Effizienz und einfache Bedienung mit exzellenter Beschichtungsqualität für anspruchsvolle REM-Anwendungen

• Robustes Design – Made in Germany
• Einzigartiges Überkopf-Beschichtungsverfahren für einen sauberen und sicheren Sputterprozess
• Hohe Auflösung und dünne Schichten auch ohne Turbomolekularpumpe
• Optimierte, intuitive Bedienung per Touchscreen
• Geeignet für Platin- und Gold-Sputterbeschichtungen
   

Der LUXOR-Pt ist ein hochinnovatives, vollautomatisches Sputter-Coating-System, das ultra-feinkörnige Platin- oder sehr feinkörnige Goldschichten mit einer Dicke von 1 bis 100nm aufträgt.

Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes Plasma im Prozessgas. Dabei werden im Plasma Ionen durch Hochspannung beschleunigt und gezielt auf das Platin- oder Gold-Target gelenkt. Feinste Atomcluster werden aus dem Target gelöst und beschichten die Proben präzise mit einer extrem dünnen, homogenen und leitfähigen Schicht.

TECHNOLOGIE

Dank des fortschrittlichen Designs ist keine komplexe, anfällige Turbomolekularpumpe erforderlich; eine effiziente, robuste zweistufige Drehschieberpumpe ist für den Betrieb ausreichend.

Das Beschichtungskonzept ist darauf ausgelegt, die Sekundärelektronenemission gezielt zu steigern, wodurch die Signalqualität der Mikroskop-Detektoren verbessert, und eine höhere Bildauflösung erzielt wird. Die reduzierte Strahldurchdringung optimiert die Ortsauflösung und schützt empfindliche Proben vor Beschädigungen.

Dadurch ermöglicht der LUXOR-Pt die Beschichtung von Proben für ultra-hochauflösende (FE-)SEM-Bildgebung bei Vergrößerungen bis zu 1.000.000-fach, wobei die Probenaufladung durch die ultrafeine Körnung effektiv verhindert wird. Auch Goldbeschichtungen mit extrem feiner Korngröße sind problemlos mit dem LUXORPt möglich.

HERAUSRAGENDE BESCHICHTUNGSERGEBNISSE

Im Vergleich zu anderen Geräten erzeugt der LUXOR-Pt besonders homogene Platin- und Goldschichten, auch bei Einsatz einer zweistufigen Drehschieberpumpe. Die A²-Technologie gewährleistet langzeitstabile Ergebnisse.

OPTIMIERTE BEDIENOBERFLÄCHE 

Die benutzerfreundliche, intuitive Touchscreen-Steuerung ermöglicht einen schnellen Start des Beschichtungsprozesses auch für unerfahrene Anwender.

OPTIMIERTE PROZESSE & EFFIZIENZ 

Mit dem LUXOR-Pt können bis zu sechs Proben pro Durchgang präzise und schnell beschichtet werden.  

ERHÖHTER SCHUTZ FÜR DAS REM 

Das einzigartige Überkopf-Beschichtungsverfahren verhindert die Ansammlung von losen Partikeln auf der Probe während des Beschichtungsprozess und sorgt dafür, dass das REM vor Kontamination geschützt wird.

ROBUSTES DESIGN, MADE IN GERMANY

Trotz seines kompakten Designs und eleganten Aussehens ist der LUXOR-Pt ein erschwingliches, robustes und widerstandsfähiges Gerät, dass für den langjährigen, intensiven Dauereinsatz konzipiert ist.

Durch das einzigartige Überkopf-Design kann auf Kabel im Deckel der Reaktionskammer verzichtet werden, wodurch die Produktsicherheit erhöht und die Anfälligkeit für elektrische Ausfälle reduziert wird.

FUNKTIONEN UND SPEZIFIKATIONEN

• Upside-down Platin- oder Gold-Beschichtung
• Maximale Probenkapazität: 6 Proben (Ø 12,5mm) oder 3 Proben (Ø 25mm)
• Mittlere Prozesszeit (2-4nm Platin): ca. 4 – 5 Minuten
• Mittlere Prozesszeit (10nm Gold): ca. 5 Minuten
• Zusätzliche Evakuierungs- und Trocknungsfunktion
• Leistungsstarke 2-stufige Drehschieberpumpe für kurze Prozesszeiten
• Evakuierungs- und Vakuum-Trocknungsmodus: 7 bis 150Pa (im Prozess stufenlos regulierbar)
• Beschichtungsdicke einstellbar: 1 bis 100nm (in 0,1nm-Schritten)
• Prozessdauer einstellbar: 1 bis 600 Minuten
• Prozesskammer: Borosilikatglas Ø 100 mm x 150 mm Höhe
• PET-Implosionsschutz: Ø 120 mm x 150 mm Höhe
• Vakuum-Anschluss: DN 16 KF
• 1 x Anschluss für Prozessgas: Argon oder Luft (max. 60.000 Pa = 0,6 Bar)
• Maße: 340 mm x 340 mm x 290 mm (BxLxH)
• Gewicht (ohne Pumpe): 12,5 kg