Sputter-Target, Gold/Palladium, 80/20, Ø30mm x 0,1mm, auf Halter, für LUXOR-Au und LUXOR-Pt, 1 Stück

Vormontierte Targets: Für den Targetwechsel werden keine Schraubendreher oder andere Spezialwerkzeuge benötigt, die sonst übliche, diffizile Handhabung dünner Metallscheiben entfällt.

Perfekter Elektrodenkontakt

Längere Target-Lebensdauer: Die Kombination aus niedriger Spannung und Beschichtungsstrom sowie die Positionierung des Magnetfelds gewährleisten eine längere Lebensdauer eines LUXOR-Targets. Je nach gewünschter Beschichtungsdicke sind pro Target ca. 1000 (bei 10 nm Schichtdicke) bis 5000 (bei 2 nm Schichtdicke) Beschichtungszyklen möglich. Gold wird typischerweise mit einer Schichtdicke von 5 bis 15 nm beschichtet, Platin mit 2 bis 5 nm.

Kostengünstiger: Positionierung, Abmessungen und Konstruktion der verschiedenen Komponenten im Plasmareaktor eines LUXOR-Beschichters sind so optimiert, dass das üblicherweise auftretende „Race-Tracking“ (ungleichmäßige Erosion des Targets) minimiert wird.

Schnell: Die Beschichtungszeit für eine 10 nm dicke Goldschicht beträgt typischerweise 2 Minuten und für eine 5 nm dicke Platinschicht 1,5 Minuten. Der gesamte Beschichtungsprozess, einschließlich der Erzeugung des Vakuums und der anschließenden Rückkehr zum Atmosphärendruck, dauert etwa 5 bis 6 Minuten.

Zur Verwendung in Luft oder Argon.