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Plasmareiniger und Pumpstände

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      Der Tergeo EM Plasmareiniger ist ein Labor-Plasmasystem für TEM- und REM-Proben, TEM Grids und REM-Probenhalter. Er kann zwei TEM-Probenhalter oder Proben bis zu einer Größe von zwei 100mm Wafern aufnehmen.


      Das Tergeo-Plasmasystem kann in zwei Reinigungsmodi betrieben werden: Immersions-Plasmareinigung für hohe Ätzraten und Oberflächenmodifikation, sowie Remote-Plasmareinigung zur sanften Entfernung von Oberflächenverunreinigungen von SEM/TEM Proben. Bei gepulstem Betrieb für extrem empfindliche Proben kann ein Plasma mit einer durchschnittlichen HF-Leistung von weniger als 0,5W erzeugt werden.

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        Der EMS GloQube® Plus ist ein neu konzipiertes Glimmentladungs-System mit zwei unabhängig voneinander arbeitenden Vakuum-Kammern. Entwickelt zum Hydrophilisieren von Oberflächen ist der GloQube® Plus ideal für die Behandlung von TEM Grids, beschichteten TEM Grids oder anderen Oberflächen geeignet, die hydrophobe Eigenschaften aufweisen. Vakuumpumpe nicht enthalten.
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          Die Binder‘sche Trockenstation TS 716 basiert auf einem ölfreien Turbopumpstand modernster Bauart. Sie kann mit bis zu sechs Rezipienten zur Aufnahme von TEM-Probenhaltern ausgestattet werden. Optional ist die Pumpstation um ein Ausheizmodul und einen Cryo-Kit, zum Evakuieren von Cryo-TEM Probenhaltern, erweiterbar. Alle Applikationen sind über einen Touchscreen intuitiv bedienbar.

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            Der Binder Plasmacleaner TPS 316 ist auf die schonende und gründliche Reinigung von TEM-Proben und TEM-Probenhaltern optimiert und basiert auf einem Turbopumpstand modernster Bauart. Der TPS 316 ist standardmäßig mit einem Hauptrezipienten zum Reinigen von Proben oder Probenhaltern und einem Subrezipienten zum Aufbewahren und Trocknen der Halter ausgestattet.