Plasmareiniger und Pumpstände

Tergeo, Tergeo-Plus und Tergeo-Pro sind automatisierte, vielseitige Tisch-Plasmareinigungs- und Ätzsysteme für Forschungs-, Entwicklungs- und Kleinserienlabore. Sie zeichnen sich durch solide Leistung bei der Oberflächenreinigung, Aktivierung, Entfernung organischer Verunreinigungen, Verbesserung der Haftung und Fotolackveraschung aus.

Der EM-KLEEN In-situ-Remote-Plasmareiniger kann zur In-situ-Reinigung von Proben und Vakuumkammern von Elektronenmikroskopen und anderen Arten von Analyseinstrumenten wie SEM, FIB, TEM, XPS und SIMS verwendet werden. Es kann Kohlenwasserstoff- und Fluorkohlenstoffverunreinigungen innerhalb der Vakuumkammer und organische Verunreinigungen auf der Oberfläche von Proben z.B. vor der Analyse effektiv entfernen.

Der Tergeo EM Plasmareiniger ist ein Labor-Plasmasystem für TEM- und REM-Proben, TEM Grids und REM-Probenhalter. Er kann zwei TEM-Probenhalter oder Proben bis zu einer Größe von zwei 100mm Wafern aufnehmen.

Das Tergeo-Plasmasystem kann in zwei Reinigungsmodi betrieben werden: Immersions-Plasmareinigung für hohe Ätzraten und Oberflächenmodifikation, sowie Remote-Plasmareinigung zur sanften Entfernung von Oberflächenverunreinigungen von SEM/TEM Proben. Bei gepulstem Betrieb für extrem empfindliche Proben kann ein Plasma mit einer durchschnittlichen HF-Leistung von weniger als 0,5W erzeugt werden.