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Plasmareiniger und Pumpstände
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Art.Nr: PIEM100Der EM-KLEEN In-situ-Remote-Plasmareiniger kann zur In-situ-Reinigung von Proben und Vakuumkammern von Elektronenmikroskopen und anderen Arten von Analyseinstrumenten wie SEM, FIB, TEM, XPS und SIMS verwendet werden. Es kann Kohlenwasserstoff- und Fluorkohlenstoffverunreinigungen innerhalb der Vakuumkammer und organische Verunreinigungen auf der Oberfläche von Proben z.B. vor der Analyse effektiv entfernen.
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Art.Nr: PIETE100
Der Tergeo EM Plasmareiniger ist ein Labor-Plasmasystem für TEM- und REM-Proben, TEM Grids und REM-Probenhalter. Er kann zwei TEM-Probenhalter oder Proben bis zu einer Größe von zwei 100mm Wafern aufnehmen.
Das Tergeo-Plasmasystem kann in zwei Reinigungsmodi betrieben werden: Immersions-Plasmareinigung für hohe Ätzraten und Oberflächenmodifikation, sowie Remote-Plasmareinigung zur sanften Entfernung von Oberflächenverunreinigungen von SEM/TEM Proben. Bei gepulstem Betrieb für extrem empfindliche Proben kann ein Plasma mit einer durchschnittlichen HF-Leistung von weniger als 0,5W erzeugt werden. -
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Der EMS GloQube® Plus ist ein neu konzipiertes Glimmentladungs-System mit zwei unabhängig voneinander arbeitenden Vakuum-Kammern. Entwickelt zum Hydrophilisieren von Oberflächen ist der GloQube® Plus ideal für die Behandlung von TEM Grids, beschichteten TEM Grids oder anderen Oberflächen geeignet, die hydrophobe Eigenschaften aufweisen. Vakuumpumpe nicht enthalten.
