Beschichtungs-Systeme

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Moderne kompakte, automatisierte Sputter-, Karbon- und CVD-Geräte werden für die Herstellung ultra-dünner, leitfähiger Schichten für Laboranwendungen, speziell in der Rasterelektronenmikroskopie (REM) eingesetzt.

Eine Neuheit auf dem europäischen Markt ist dabei ein PE-CVD-System für die isotrope Beschichtung durch ultradünnes, metallisches Osmium mit minimalen Korngrößen und hoher Leitfähigkeit bei minimaler Schädigung der Probe – ideal für REM-, EDX-, EBSD-, AES- und XPS-Analysen.

LUXOR C, Karbon Beschichtungsanlage

Der LUXORC wurde für die kontrollierte Kohlenstoffverdampfung entwickelt. Leitfähige Karbonbeschichtung ermöglicht u.a. energiedispersive Röntgenspektroskopie (EDX)-Analysen ohne die spektralen Interferenzen, die typischerweise durch Schwermetallbeschichtungen verursacht werden.

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LUXOR Au, Gold Sputteranlage

Der smarte, innovative und vollautomatische Sputter-Coater LUXORAu wird standardmäßig zur Goldbeschichtung für REM-Anwendungen bis zu 50.000-facher Vergrößerung eingesetzt. Die Standard-Schichtdicke beträgt 5-10nm bei einer durchschnittlichen Beschichtungszeit von 5min. Das revolutionäre Upside Down-Design ermöglicht ein sauberes und sicheres Arbeiten.

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LUXOR Pt, Platin Sputteranlage

Der smarte, innovative und vollautomatische Sputter-Coater LUXORPt wird standardmäßig zur Platinbeschichtung für hochauflösende REM-Anwendungen ab 50.000-facher Vergrößerung eingesetzt. Die Standard-Schichtdicke beträgt 2-5nm bei einer durchschnittlichen Beschichtungszeit von 5min. Der LUXORPt kann auch für Gold-Sputter-Beschichtungen für bis zu 50.000-facher Vergrößerung verwendet werden. Das revolutionäre Upside Down-Design ermöglicht ein sauberes und sicheres Arbeiten.

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Tennant20, ultrahoch-auflösendes PE-CVD Beschichtungssystem

Der Tennant20 ist ein automatisiertes, handliches PE-CVD System für die Herstellung von ultra-dünnen, Beschichtungen für REM-, EDX-, EBSD-, AES-, XPS-Analysen. Das rotationsgepumpte, geschlossene System erzeugt isotrope Osmium-Schichten mit sehr geringen Korngrößen und hoher Leitfähigkeit. Durch eine Vielzahl von eingebauten Sicherheitsfunktion wird eine sichere, den Labor-Standards entsprechende Handhabung gewährleistet.

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