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Tergeo EM Tabletop Plasmareiniger für die Elektronenmikroskopie

PIETE100

Der Tergeo EM Plasmareiniger ist ein Labor-Plasmasystem für TEM- und REM-Proben, TEM Grids und REM-Probenhalter. Er kann zwei TEM-Probenhalter oder Proben bis zu einer Größe von zwei 100mm Wafern aufnehmen.


Das Tergeo-Plasmasystem kann in zwei Reinigungsmodi betrieben werden: Immersions-Plasmareinigung für hohe Ätzraten und Oberflächenmodifikation, sowie Remote-Plasmareinigung zur sanften Entfernung von Oberflächenverunreinigungen von SEM/TEM Proben. Bei gepulstem Betrieb für extrem empfindliche Proben kann ein Plasma mit einer durchschnittlichen HF-Leistung von weniger als 0,5W erzeugt werden.

Preis auf Anfrage

Produktdetails

Beschreibung

  • Zwei integrierte Reinigungsmodi: Immersions-Plasmareinigung und Remote-Downstream-Plasmareinigung
  • Plasmasensor zur Messung der Plasmaintensität in Echtzeit
  • Gepulster Betrieb bis zu Millisekundenpulsen
  • Multifunktion: Plasmaätzen, Oberflächenmodifikation und Reinigung
  • Große Probenkammer: Innendurchmesser der Quarzkammer 110mm, Tiefe 280mm
  • Quarz-Probehalter: 100mm x 250mm
  • Zwei TEM Probenhalteradapter für TEM-Halter von bis zu zwei verschiedenen Herstellern

 

Immersions-Plasmareinigung und Remote-Downstream-Plasmareinigung

 

Immersions-Plasmareinigung
Das Plasma wird innerhalb der Probenkammer erzeugt. Die Proben werden im Plasma gereinigt, um effizient organische Verunreinigungen, Ablagerungen oder z.B. Photolackreste zu entfernen, sowie Oberflächen zu modifizieren.

 

 

 

 

Remote-Downstream-Plasmareinigung
Das Plasma wird außerhalb der Probenkammer erzeugt, Proben kommen nicht direkt mit dem Plasma in Berührung. Nur eine schonende chemische Reaktion findet auf der Probenoberfläche statt, ohne energetisches Ionensputtern. Diese Anwendung ist z.B. für fragile Dünnschichten wie kohlenstoffbeschichtete TEM-Grids und wärmeempfindliche Verbundwerkstoffe, Polymere, biologische Proben etc. geeignet.

 

 

 

Probenbeladung

20-fach TEM Gridhalter (grün) kann direkt auf das Quarzregal gelegt werden. Die Kammer kann bis zu 6 dieser Halter (120 TEM-Grids) aufnehmen.
In grau die Probenhalterplatte aus Quarz, mit Löchern für SEM-Stubs.

Zwei Adapter für TEM-Probenhalter sind in die Kammertür integriert (gelb). Nach Herausnehmen der Kappen können 1-2 TEM-Halter eingeführt werden.


Die Kammertür kann abgenommen werden, um in die Probenkammer zu gelangen. Die Tür ist während des normalen Betriebs fest an der Kammer verriegelt.

 

 

 

Gepulster Betrieb

Das Tergeo-EM-Plasmasystem kann kontinuierliches oder gepulstes Plasma erzeugen. Es kann nicht nur die HF-Leistung, sondern auch die Pulsdauer gesetzt werden. Der gepulste Modus erweitert den dynamischen Bereich der Plasmaintensität in dem der Tergeo Plasmareiniger betrieben werden kann.

Die gepulste Leistung kann von 100% (kontinuierlich) bis auf unter 1% gesetzt werden. Die Plasmaintensität variiert linearer mit der Pulsdauer im Vergleich zur Regelung der HF-Leistung. Der Pulsmodus kann ein extrem schwaches Plasma erzeugen, das für das menschliche Auge fast unsichtbar ist. Der integrierte, proprietäre Plasmasensor kann die Plasmaintensität jedoch quantitativ messen.

Der gepulste Modus kann ein sehr nieder-energetisches, aber trotzdem reproduzierbares Plasma erzeugen. Mit anderen Systemen ohne diese Funktion ist es schwierig nieder-energetische Plasmen reproduzierbar zu betreiben. Der Tergeo-EM-Plasmareiniger ist dadurch besonders für fragile Proben wie 2D-Materialien, löchrige kohlenstoffbeschichtete TEM Grids und andere empfindliche Materialien geeignet, die durch starkes Plasma leicht beschädigt werden können.

 

 

Quantitative Plasmaintensitätsmessung


Der integrierte Plasmasensor misst die Plasmaintensität. Die Information wird laufend auf dem Display angezeigt. Die quantitative Plasmaintensitätsmessung ist ein sehr aussagekräftiger Parameter bei der Prozesskontrolle. Die Messung ist eine sehr hilfreiche Rückmeldung, um die Reinigungsgeschwindigkeit durch Gasdurchsatz und HF-Leistung anzupassen - sehr nützlich, um neue Reinigungsprozesse für verschiedene Proben zu entwickeln.



Intelligente Plasmazündung

Da der Tergeo-EM-Plasmareiniger über einen Sensor verfügt, der die Plasmaintensität in Echtzeit messen kann, kennt der Systemcontroller den aktuellen Status des Plasmas. Wenn das Plasma bei niedriger HF-Leistung nicht zündet, erhöht das System automatisch die RF-Leistung, bis das Plasma zündet. Sobald das Plasma gezündet hat, reduziert das System die Leistung wieder umgehend auf den Sollwert. Diese Funktion ermöglicht es dem Tergeo-System, mit viel geringerer HF-Leistung als vergleichbare Plasmasysteme zu arbeiten.

 

Einfach zu bedienen durch intuitive Benutzeroberfläche

 

Vollautomatischer Betrieb: Speicher für 20 Rezepte. Gespeicherter Prozess startet mit einem Tastendruck und liefert reproduzierbare, zuverlässige Ergebnisse.


Recipe Lock: Gespeicherte Rezepte können gesperrt werden, um unbeabsichtigte Änderungen durch Benutzer zu verhindern. Ideal für Einrichtungen mit mehreren Benutzern.


Intelligente Selbstdiagnose: Informiert Benutzer über Systemstatus und zeigt Fehlermeldungen mit Hilfe über den LCD-Bildschirm oder die PC-Benutzeroberfläche.

Tergeo Plasmasysteme können über zwei Benutzeroberflächen gesteuert werden: LCD-Touchscreen-Benutzeroberfläche und optionale PC-Software.

PC-Steuerung

Überwachen Sie Ihre Prozesse über die optionale PC-Software. Speichern Sie System- und Prozessprotokolle und starten Sie Prozesse direkt aus der Software.
Die Tergeo EM-Software kann Warnungen generieren, wenn der Prozess gesetzte Grenzwerte über- oder unterschreitet. Die Grenzen können für jedes Rezept individuell eingestellt werden. Der Alarm kann für HF-Leistung, Kammerdruck, Gasdurchfluss jedes angeschlossenen Gases und die Plasmaintensität gesetzt werden.

 

Ergebnisse

Der Tergeo Plasmareiniger ist vielseitiges und intuitive bedienbares Laborplasmasystem für die Reinigung/Aktivierung von TEM/REM-Proben, Grids und Probenhaltern.

Die Hochleistungs-Labor-Plasmareiniger basieren auf Technologien, die von der Plasma and Ion Source Technology Group im Lawrence Berkeley National Laboratory entwickelt wurden.

 

Spezifikationen

HF-Netzteil 0-75W stufenlos einstellbar in 1W-Schritten
  13,56 MHz Hochfrequenz-HF-Netzteil, automatische Impedanzanpassung
  Kontinuierlicher und gepulster HF-Ausgang.
Probenkammer Zylindrische Quarzkammer und Quarzglasfenster
  Innendurchmesser 110 mm, Tiefe 280 mm, Wandstärke 5mm
  Ein rechteckiger Probenträger aus Quarzglas mit Löchern für REM-Stubs ist im Lieferumfang enthalten
  Absperrventil zwischen Plasmakammer und Pumpe für schnelles Be- und Entladen von Proben.
  Korrosionsbeständiger 304 Edelstahl-Drahtgewebefilter, um zu verhindern, dass Plasma in den Pumpschlauch austritt.
  Teflonbeschichteter O-Ring für verbesserte chemische Beständigkeit und längere Lebensdauer.
  Zwei Adapter für TEM-Probenhalter und zwei Quarzbeobachtungsfenster. Es können TEM-Probenhalter von zwei verschiedenen Herstellern verwendet werden. Mit einer zusätzliche Fronttüre können vier verschiedene Arten von TEM-Probenhaltern verwendet werden.
Design der Plasmaquelle Zwei Plasmaquellen in einem System: Direktes Plasma und Remote-Downstream Plasmaquelle.
  Konventionelle Plasmaerzeugung im Direktmodus für hocheffiziente Reinigung und sanftes Plasma im indirekten Downstream-Modus für empfindliche Proben, Kohlenstoff- und Graphengrids.
  Vielfältige Kontrolle über den Ätzprozess, indem HF-Leistung, HF-Pulsdauer, Plasmamodus (direkt oder indirekt) und das Gasmischungsverhältnis angepasst werden können.
  Externes HF-Elektrodendesign zur Reduzierung von Ionensputtern auf den Metallelektroden, keine Metallkontamination durch die Elektroden.
Plasmaentladung Kapazitiv gekoppelte Entladung für die direkte Plasmaquelle
  Induktiv gekoppelte Plasmaquelle als indirekte Plasmaquelle
Plasmadiagnostik Echtzeit-Plasmaintensitätssensor zur quantitativen Überwachung des Plasmastatu.
  Intelligente, automatische Plasmazündung und -tuning durch Feedback des Echtzeit-Plasmaintensitätssensors.
Gasversorgung und Prozessgase Magnetventil zum schnellen Belüften und Spülen der Kammer nach dem Prozess. Die Durchflussrate des Belüftungsgases kann über ein Nadelventil eingestellt werden, um zu verhindern, dass leichte TEM/SEM-Proben durch einen starken Gasfluss weggeblasen werden.
  Zwei (optional drei) Mass-Flow-Controller (MFC)-regulierte Gasanschlüsse für die Prozessgaszufuhr
  Alle Gasanschlüsse verwenden standardmäßig ¼“ Swagelok Rohrverschraubungen
  Unterstützte Prozessgase: Sauerstoff, Wasserstoff, Argon, Umgebungsluft oder Mischgase. Das Mischungsverhältnis kann in jedem Rezept individuell eingestellt werden.
  Eingangsgasdruck: 0,5 – 1 bar
Drucksensor Pirani-Drucksensor: 10-4 bar - Atmosphäre
Vakuumpumpen Scroll-Pumpen mit Saugvermögen: 6-12m3/h und Enddruck 0,02mbar oder weniger empfohlen

Weitere Informationen

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Anwendung
Elektronenmikroskopie
EM
REM
TEM
Hersteller
PIE Scientific