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Target-Größen für Sputter-Coater Modelle

Die Größe des Targets ist abhängig vom Modell des Sputter-Coaters. Sie finden Größenangaben und zugehörigen Modelle von Sputteranlagen in der untenstehenden Tabelle.

Das technische Design der Sputteranlage bestimmt, ob ein Target mit oder ohne Halteplatte benötigt wird.

Je dicker ein Target ist, desto mehr Material steht für Beschichtungen zur Verfügung. Ein Target ist verbraucht, wenn das Material sehr dünn oder löchrig geworden ist. Da das Material beim Sputtern nicht gleichmäßig an allen Stellen des Targets abgetragen wird, bleibt am Ende immer Restmaterial übrig. Hochpreisige Edelmetalle können ab gewissen Mengen eingeschickt und der Materialwert, abzüglich Bearbeitungskosten, auf neue Targets angerechnet werden.

Sputter-Target
Durchmesser/ mm
Sputter-Coater
Hersteller & Modelle
19 GATAN
681 Ion Beam Coater 682 PECS Ion Beam Coater 685 PECS II Ion Beam Coater
               
24 BIO-RAD
E7400 / LT7400
QUORUM PP2000 / PP2000T
PP3000T / PP3010T
VG Microtech / Fisons / Thermo PP2200 / PP2000T            
50 ANATECH/ TECHNICS
Hummer I / II / III / Jr
FULLAM
EffaCoater / EMS-76
SEC
MCM-100 / MCM-200
SPI
SPI Super
         
54 Bal-Tec
SCD 005 / 040 / 050 / 500
MED 10 / MED 20
HHV
BT150 / BT300
LEICA
EM SCD 005 / 050 / 500
EM MED 020
ACE 200 / ACE 600
SAFEMATIC
CCU-010
         
57 AGAR
Manual / Automatic
High resolution sputter coater
BIO-RAD
SC5200 / SC502
CRESSINGTON
108manual / 108auto
108auto/SE 208HR
EMITEC
SC7620 / SC7610
K575X &XD / K675X & XD
EMS
Q150 150R / 150T / 300R / 300R
K575X &XD / K675X & XD
SC7620 / SC7610
EMSCOPE SC502 HOYEON HC21 ISI
ISI 5400
JEOL
JFC-1200 / 1300 / 1400 / 1600
JFC-2300HR
58 EMSCOPE
SC500 / SC500A (auf Ø58mm Target-Halter)
               
60 DENTON
Desk II / II / IV / V
EDWARDS
150B / Scancoat
EMITECH
K500X / K550X / K650X
(auf Ø60mm Target-Halter)
EMS
K500X / K550X / K650X
(auf Ø60mm Target-Halter)
         
62 HITACHI
MC 1000