Gold-auf-Kohle-Testobjekt, hohe Auflösung

Die Auflösung im SEM kann anhand einer Kombination von verschiedenen Kriterien wie die Anzahl der Graustufen und die Auflösung von Zwischenräume, getestet weden. Dadurch wird sichergestellt, daß die Auflösung nicht durch Kontraständerungen, z.B. für die Verbesserung der Sichtbarkeit von Kanten, verzerrt wird. Hochauflösende Bilder sollten idealerweise feine Details, wenig Rauschen, sowie einen großen Bereich an Graustufen zeigen.

Für Auflösungstests von SE- und BSE-Detektoren und für EDX-Analyse-Systeme wie zB. Auger Instrumente. Die Größe der Goldpartikel liegt ungefähr zwischen 5nm und 100 nm. Jedes Testobjekt besteht aus einem quadratischen Gittermuster mit großen Kristallen in der Mitte der Quadrate und sehr kleinen Kristallen am Rand. So können mittlere und höhere Auflösungstests mit dem gleichen Testobjekt durchgeführt werden. Zusätzlich kann anhand der Facetten der großen Kristalle ein Grauwertstufentest bei hoher Vergrößerung durchgeführt werden.