REM Testobjekt, Aluminium-Wolfram Dendriten

E79514-01

Die unterschiedlichen Abstände, die sich aus der Dendritenstruktur ergeben, erleichtern den Abstandstest. Die topographische Anordnung ist für den Graustufentest geeignet. Für einen Auflösungsbereich von 25nm bis 75nm.

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Produktdetails

Beschreibung

Die Auflösung im SEM kann anhand einer Kombination von verschiedenen Kriterien wie die Anzahl der Graustufen und die Auflösung von Zwischenräume, getestet weden. Dadurch wird sichergestellt, daß die Auflösung nicht durch Kontraständerungen, z.B. für die Verbesserung der Sichtbarkeit von Kanten, verzerrt wird. Hochauflösende Bilder sollten idealerweise feine Details, wenig Rauschen, sowie einen großen Bereich an Graustufen zeigen.

Das Testobjekt ist nicht magnetisch und vakuumrein. Es wird nicht montiert geliefert und kann mit Leitsilber oder Leit-C auf jedem Probenteller montiert werden.

Es ist keine Beschichtung notwendig.