LUXOR Au, Gold Sputteranlage

Der LUXOR-Au Sputter-Coater vereint innovative Technologie, hohe Effizienz und einfache Bedienung mit exzellenter Beschichtungsqualität für anspruchsvolle REM-Anwendungen

• Robustes Design – Made in Germany
• Einzigartiges Überkopf-Beschichtungsverfahren für einen sauberen und sicheren Sputterprozess
• Hohe Auflösung und dünne Schichten auch ohne Turbomolekularpumpe
• Optimierte, intuitive Bedienung per Touchscreen
   

Der LUXOR-Au ist ein hochinnovatives, vollautomatisches Sputter-Beschichtungs-System, das sehr feinkörnige Goldschichten mit einer Dicke von 1 bis 100nm aufträgt.

Die einzigartige A²-Technologie von LUXOR erzeugt ein kontrolliertes Plasma im Prozessgas. Dabei werden im Plasma Ionen durch Hochspannung beschleunigt und gezielt auf das Gold-Target gelenkt. Feinste Atomcluster werden aus dem Target gelöst und beschichten die Proben präzise mit einer extrem dünnen, homogenen und leitfähigen Schicht.

TECHNOLOGIE

Dank des fortschrittlichen Designs ist keine komplexe, anfällige Turbomolekularpumpe erforderlich; eine effiziente, robuste zweistufige Drehschieberpumpe ist für den Betrieb ausreichend.

Das Beschichtungskonzept ist darauf ausgelegt, die Sekundärelektronenemission gezielt zu steigern, wodurch die Signalqualität der Mikroskop-Detektoren verbessert, und eine höhere Bildauflösung erzielt wird. Die reduzierte Strahldurchdringung optimiert die Ortsauflösung und schützt empfindliche Proben vor Beschädigungen.

Dadurch ermöglicht der LUXOR-Au die Beschichtung von Proben für ultra-hochauflösende (FE-)SEM-Bildgebung bei Vergrößerungen bis zu 100.000-fach, wobei die Probenaufladung durch die feine Körnung effektiv verhindert wird.

HERAUSRAGENDE BESCHICHTUNGSERGEBNISSE

Im Vergleich zu anderen Geräten erzeugt der LUXOR-Au besonders homogene Goldschichten, auch bei Einsatz einer zweistufigen Drehschieberpumpe. Die A²-Technologie gewährleistet langzeitstabile Ergebnisse.

OPTIMIERTE BEDIENOBERFLÄCHE 

Die benutzerfreundliche, intuitive Touchscreen-Steuerung ermöglicht einen schnellen Start des Beschichtungsprozesses auch für unerfahrene Anwender.

OPTIMIERTE PROZESSE & EFFIZIENZ 

Mit dem LUXOR-Au können bis zu sechs Proben pro Durchgang präzise und schnell bearbeitet werden.  

ERHÖHTER SCHUTZ FÜR DAS REM 

Das einzigartige Überkopf-Beschichtungsverfahren verhindert die Ansammlung von freien Partikeln auf der Probe während des Beschichtungsprozess und sorgt dafür, dass das REM vor Kontamination geschützt wird.

ROBUSTES DESIGN, MADE IN GERMANY

Trotz seines kompakten Designs und eleganten Aussehens ist der LUXOR-Au ein erschwingliches, robustes und widerstandsfähiges Gerät, dass für den langjährigen, intensiven Dauereinsatz konzipiert ist.

Durch das einzigartige Überkopf-Design kann auf Kabel im Deckel der Reaktionskammer verzichtet werden, wodurch die Produktsicherheit erhöht und die Anfälligkeit für Ausfälle reduziert wird.

FUNKTIONEN UND SPEZIFIKATIONEN

• Upside-down Gold-Beschichtung in Luft oder Argon Plasma
• Maximale Probenkapazität: 6 Proben (Ø 12,5mm) oder 3 Proben (Ø 25mm)
• Mittlere Prozesszeit (10nm Gold): ca. 5 Minuten
• Zusätzliche Evakuierungs- und Trocknungsfunktion
• Leistungsstarke 2-stufige Drehschieberpumpe für kurze Prozesszeiten
• Evakuierungs- und Vakuum-Trocknungsmodus: 7 bis 150Pa (im Prozess stufenlos regulierbar)
• Beschichtungsdicke einstellbar: 1 bis 100nm (in 0,1nm-Schritten)
• Prozessdauer einstellbar: 1 bis 600 Minuten
• Prozesskammer: Borosilikatglas Ø 100mm x 150mm Höhe
• PET-Implosionsschutz: Ø 120mm x 150mm Höhe
• Vakuum-Anschluss: DN16KF
• 1 x Anschluss für Prozessgas: Argon oder Luft (max. 60.000Pa = 0,6bar)
• Maße: 340mm x 340mm x 290mm (BxLxH)
• Gewicht (ohne Pumpe): 11kg