3D Kalibrierung

Die m2c Kalibriersoftware microCal wurde speziell für die 3D Kalibrierung mit m2c Kalibrierstrukturen entwickelt. Die Nutzung der markergestützten 3D Kalibriertechnologie ermöglicht eine höhere geometrische Messgenauigkeit basierend auf der automatischen Auswertung der Kalibriermessung. Aus der Nutzung ergeben sich folgende Vorteile:

• One Step: Simultane Kalibrierung von Lage und Höhe in einem Schritt (Maßstäbe und Scherungen)
• One Model: Berücksichtigung von Kopplungen zwischen vertikalen und lateralen Geräteachsen
• One Click: Effiziente Durchführung der Kalibrierung mit hochgenauen Ergebnissen
• One Reference: Die Software ist für verschiedene Messgeräte anwendbar

Die 3D Kalibriertechnologie der Firma m2c ermöglicht die Verwendung eines REM mit 4 Quadrant BSE Detektoren (4Q BSD) für quantitative 3D Messungen. Die 3D Kalibrierung mit speziellen m2c Kalibriernormalen für 4Q BSD REM hat folgende Vorteile:

• Simultane Kalibrierung von Lage und Höhe in einem Schritt
• Effiziente Durchführung der Kalibrierung durch Anwendung von modernen Bildverarbeitungstechniken
• Kugelförmiges Element für die Kalibrierung der vier BSE Detektoren

m2c 3D Kalibrierstrukturen für 4Q BSD REM Systeme gibt es für verschiedene Scanbereiche (40 x 40 μm und 80 x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden.

Die m2c 3D AFM Kalibriertechnologie bringt eine höhere geometrische Messgenauigkeit und hat viele Vorteile:

• One Step: Simultane Kalibrierung von Lage und Höhe in einem Schritt
• One Model: Berücksichtigung von Kopplungen zwischen vertikalen und lateralen Geräteachsen
• One Click: Effiziente Durchführung der Kalibrierung durch Anwendung von modernen Bildverarbeitungstechniken
• One Reference: Universell einsetzbar in AFM, CLSM, REM (weitere auf Anfrage)

m2c 3D AFM Kalibrierstrukturen gibt es für verschiedene Scanbereiche (20 μm x 20 μm bis 80 μm x 80 μm). Für die Kalibrierung kann entweder der gesamte Bereich oder ein Teil (Einzelpyramide) verwendet werden.