3D Kalibrierung

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microCal - 3D Kalibriersoftware

Die m2c Kalibriersoftware microCal wurde speziell für die 3D Kalibrierung mit m2c Kalibrierstrukturen entwickelt. Die Nutzung der markergestützten 3D Kalibriertechnologie ermöglicht eine höhere geometrische Messgenauigkeit basierend auf der automatischen Auswertung der Kalibriermessung. Aus der Nutzung ergeben sich folgende Vorteile:

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3D Kalibrierstrukturen für 4Q BSD REM

Die 3D Kalibriertechnologie der Firma m2c ermöglicht die Verwendung eines REM mit 4 Quadrant BSE Detektoren (4Q BSD) für quantitative 3D Messungen. Die 3D Kalibrierung mit speziellen m2c Kalibriernormalen für 4Q BSD REM hat folgende Vorteile:
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3D Kalibrierstrukturen für AFM

Die m2c 3D AFM Kalibriertechnologie bringt eine höhere geometrische Messgenauigkeit und hat viele Vorteile:
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