Wafers
(4)Der Siliziumwafer – ein Produkt aus der Halbleiterindustrie – ist auch in der Mikroskopie ein bewährtes Substrat. Aufgrund der kontrollierbaren Leitfähigkeit und der definierten flachen und sehr glatten Oberfläche eignen sich Siliziumwafer ideal als Substrat bzw. Probenträger für diverse Arten von Probenmaterial.
Wafer werden in „nicht-transmissiven“ Mikroskopiearten verwendet, wie in der Rasterelektronenmikroskopie (REM, FIB-SEM),
Rasterkraftmikroskopie (AFM, SPM), Rastertunnelmikroskopie (STM) und in der Auflichtmikroskopie.
Durch die Weiterentwicklung des Forschungsfeldes der Rasterelektronenmikroskopie für 3D-Rekonstruktion von Gewebe mit Ultrastruktur-Auflösung, der sogenannten Array Tomographie (AT) hat sich ein neues Anwendungsgebiet für Siliziumwafer eröffnet.